เครื่องพ่นเคลือบสารกึ่งตัวนำด้วยคลื่นเสียงความถี่สูง

เครื่องเคลือบสเปรย์ครึ่งประสาทด้วยเสียงฉีด

Ultrasonic semiconductor atomization spraying is a precision thin-film deposition technology that uses high-frequency ultrasonic energy to atomize semiconductor materials (such as photoresists and conductive materials) into fine, น้ําตัวกระจกแบบเรียบร้อย น้ําตัวกระจกเหล่านี้ถูกฉีดด้วยความแม่นยําบนพื้นผิวของพื้นฐาน โดยใช้ก๊าซตัวนํา ส่งผลให้เกิดการเคลือบผนังบางที่มีคุณภาพสูงและเรียบร้อยเทคโนโลยีนี้มีข้อดี เช่น ประสิทธิภาพสูง, ความแม่นยําสูง, การสูญเสียวัตถุที่ต่ํา, และผิวเคลือบบางและเรียบร้อย. มันถูกใช้อย่างแพร่หลายในการผลิตครึ่งตัวนํา, พลังงานใหม่, และผิวเคลือบกระจก, แทนวิธีการฉีดแบบดั้งเดิม

หลักการทํางาน

1อุทราซอนิค อัตโนมัติ:

หัวใจของอุปกรณ์นี้คือ ช่องฉีดเสียง ultrasonic ซึ่งมีตัวแปลงที่แปลงพลังงานไฟฟ้าเป็นการสั่นสะเทือนทางกลความถี่สูง

2. การกระจายน้ําเหลว:

เมื่อของเหลว (สารละลาย, โซล, หรือสปันเซนชั่น) ผ่านช่องจุ้ย, atomizer สั่นสะเทือนสร้างสั่นสะเทือน. เมื่อความเข้มข้นการสั่นสะเทือนเกินความตึงของผิวของเหลว,น้ําเหลวถูกแยกออกเป็นฝรั่งขนาดไมครอน.

3การจัดส่งก๊าซบรรทุก:

กระป๋องกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจกกระจก

4การฝังหนังบาง:

น้ําตกลงบนพื้นฐาน สร้างผิวหนังบางต่อเนื่อง

ข้อดีในการใช้งานครึ่งตัวนํา

ความแม่นยําสูงและความเหมือนกัน

ความสามารถในการฝากเคลือบผนังบาง ultra-thin และเรียบร้อยเป็นสิ่งสําคัญสําหรับการใช้งานในการผลิตครึ่งตัวนํา เช่น photoresists, films conductive และ films insulatingที่ต้องการความแม่นยําสูงสุด.

ลดการสูญเสียวัสดุ:

เมื่อเทียบกับการฉีดแบบดั้งเดิม การฉีดด้วยเสียงฉีด Ultrasonic จะไม่ผลิตการกระโดดกระโดดกระโดดหรือการฉีดกระโดดมากเกินไปทําให้มันเหมาะสําหรับการเคลือบวัสดุที่แพง.

การฉีดอ่อน:

กระบวนการฉีดเป็นความอ่อนโยนและไม่ทําลายพื้นฐาน ทําให้มันเหมาะสําหรับวัสดุครึ่งประสาทที่เปราะบางและองค์ประกอบอิเล็กทรอนิกส์

เครื่องฉีดน้ําหลากหลาย:

ช่องจุ้ยที่มีความกว้าง ความยาว รูปทรง และอัตราการไหลที่แตกต่างกันสามารถถูกเลือกเพื่อตอบสนองความต้องการการใช้งานเฉพาะเจาะจง ทําให้สามารถเคลือบพื้นที่ในพื้นที่ที่ตั้งหรือใหญ่ได้อย่างเท่าเทียมกัน